產(chǎn)品關(guān)鍵詞:
半導(dǎo)體專用真空烘箱
是否為生產(chǎn)商:
是
主要銷售市場(chǎng):
中國(guó),北美洲,中/南美洲,西歐,東歐,大洋洲,亞洲,中東,非洲

AI產(chǎn)品描述:
以下內(nèi)容為AI生成,僅供參考
半導(dǎo)體專用真空烘箱主要用于芯片制造、封裝等工藝中的精密烘干與除氣,通過真空環(huán)境降低沸點(diǎn),高效去除水分、溶劑及揮發(fā)性雜質(zhì)。其核心用途包括:
1. **材料預(yù)處理**:防止晶圓/基板在高溫下氧化;
2. **膠黏劑固化**:提升電子元件粘接可靠性;
3. **濕法工藝后干燥**:避免殘留導(dǎo)致微短路。
**注意事項(xiàng)**:
- 需嚴(yán)格控制溫度(常設(shè)50-200℃)及真空度(≤10?3Pa),避免材料熱損傷;
- 裝載時(shí)均勻分布樣品,防止局部過熱;
- 定期維護(hù)密封件與真空泵,確保氣密性。
該設(shè)備對(duì)潔凈度要求極高,適用于無塵車間,是半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵制程裝備之一。