ZR-4000型氣流流形測(cè)試儀利用超聲波霧化器產(chǎn)生10微米左右的高可見(jiàn)度及無(wú)污染的水霧,用于潔凈廠房、局部潔凈環(huán)境的氣流流形攝像及錄像。根據(jù)ISO14644-3及GMP對(duì)潔凈廠房驗(yàn)收需要對(duì)氣流方向進(jìn)行評(píng)價(jià),可適用于半導(dǎo)體,制藥類(lèi)潔凈車(chē)間。
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